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12英寸及以上晶體生長爐  
簡要說明:
 
詳細內容  

設備參數:

指標

參數

指標

參數

晶體直徑

φ8"/φ14"

熔料量

380Kg

主爐室尺寸

φ900×1250mm

翻板閥通徑

φ420mm

拉伸腔尺寸

φ450×2270mm

電源

3相380V±10%,50HZ

變壓器容量

230KVA

冷爐極限真空度

3Pa

加熱器最大加熱功率

150KVA

加熱器最高加熱電壓

60V

主機最大高度

7200mm

籽晶拉速范圍

0~12.5mm/min

籽晶快速范圍

≥400mm/min

籽晶轉速范圍

0~50R/min

坩堝升速范圍

0~2mm/min

坩堝快速范圍

≥100mm/min

坩堝轉速范圍

0~20R/min

籽晶提升有效行程

2250mm

坩堝升降有效行程

400mm

 

 

主機占地面積

2700mmX1500mm

整機占地面積

5500mmX3000mm

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